镀膜机安全技术操作规程
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1、 镀膜机安全技术操作规程版 本A1受控标识文件编号Rt-sc-001一、目的消除一切使设备遭到损坏、使人身健康与安全受到威胁、使环境遭到污染的因素或现象,避免设备事故的发生,实现安全正常生产。二、适用范围本公司镀膜机的安全生产管理的全过程。三、安全操作规程1、开机前先检查各真空泵的油位高度,如有不足要补充后再开机。2、开高阀前必须对溅射室抽低真空,待压力达到5Pa时,方可打开高阀,不允许直接用扩散泵抽高于5Pa压力的溅射室。3、操作或维修高阀时,阀两侧压力基本一致时才能开高阀。4、对溅射室充气前,应首先切断真空计的高真空测量,以免损坏电离规管。5、设备使用中途停水时,应立即切断扩散泵和溅射电源
2、。6、设备使用中途停电时,应将真空计的电离规管关闭,关压电阀,关“充气阀”,关溅射电源,关工件旋转和烘烤电源等,待来电后重新启动。7、应根椐使用情况定期观察弧靶腐蚀沟道的情况及时更换新靶材。8、拆装弧靶时,应先关闭冷却水,拆下水管,用压缩空气吹净靶体内的水,防止水滴在溅射室内;并且不能损伤靶体,尤其是密封面。9、更换靶材时,不能损坏密封表面、靶阴极体及靶零件,必须清除油污及汗渍。10、开启溅射室盖时,室内应处于常压,决不允许真空室处于真空状态时开启室盖。11、操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业,注意设备本身及设备运行中的安全,特别要重视安全装置的检查与使用。变更履历A12012.4.20版本标记更改处数描述姓名日期拟 制审 核标 准 化批 准第1页共1页
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