净化车间也叫 洁净室、无尘室、无尘车间等,广泛应用在光电、电子、半导体、实验室、电子组装区域等局部高洁净度场合。十万级净化车间(洁净室)是常用的一个净化级别。它包括主体框架、中空玻璃视窗、围护钢板、洁净气密门、风机滤网机组FFU、照明装置、控制中 心等。
十万级净化车间(洁净室)指的是按照美国联邦209E标准、 1立方英尺(ft³)内0.5微米(um)的灰尘个数控制在十万个,除了0.5微米(um)的灰尘,其他0.1-5.0微米(um)的灰尘按照不同的净化标准也是需要过滤的。
净化车间(洁净室)的主要设备是风机滤网机组FFU,根据需求,还可加装控温、控湿的空调。
风机滤网机组FFU包括初效过滤器、风机、高 效过滤器等,位于净化车间的顶部,干净的气流自上而下排出,污染空气从侧面、高架地板排出,再经过高 效过滤器过滤,形成循环。初效过滤器用于过滤粗灰尘,高 效过滤器则可以99.99%去除0.3微米(um)的灰尘。十级以上级别的净化车间(洁净室),还可以将高 效过滤器换成更高质量的超 高 效过滤器。
百级以上的净化车间(洁净室)采用单向流(层流)的气流组织送风方式,FFU满布,底部用高架地板回风,这种方式气流的方向和速度均保持一致,实现活塞效果,速度很快。千级以下则是乱流的方式。
十万级净化车间(洁净室)主要是侧面排风,依靠单位时间内的送风量(也就是换气次数)不同来实现空气净化。十万级净化车间(洁净室)的换气次数一般在60-80次/小时。
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