无尘车间设计方案之十级无尘车间设计

无尘车间设计方案之100 级无尘车间设计

本工程以上海市某电子材料公司新建洁净厂房中无尘车间设计为例, 总净化面积为1500 平方米, 分为更衣室 1 (gown room)、更衣室 2 (gown room)、化验室 1 (Wet Labora- tory) 和化验室 2 (Instrument Laboratory)。实验室面积虽然不大, 但它是整个车间工艺流程的核心部分, 净化实验室能否正常运行, 直接影响到整个产品质量。工程于2020年 年6月完成施工、并全面通过静态测试验收投入运行, 到目前为止运行良好。

无尘车间设计要求

按照 FS- 209E 标准 ( FS- 209E 标准见表 1) , 本工程各无尘车间的洁净等级分别为更衣室 1: Class 4.5 级 ( 1000) ,  更衣室 2: Class 3.5 级 ( 100) , 化验室 1: Class 4.5 级 ( 1000) , 化验室 2: Class 2.5 级 ( 10) 。实验室内装要求: 无尘车间内隔间吊顶及龙骨须为防腐蚀材料, 所有水泥墙表面涂装耐腐蚀环氧树脂防止有可能被化学气体腐蚀, 所有与回风相接触的机械元件都必须用不锈钢材质或者与之耐腐蚀性相当的材料。高效过滤器 ( HEPA) 和超高效过滤器 ( ULPA) 也要有耐腐蚀考虑。

空调要求: 安装一套新风处理机组, 处理的新风供给洁净室及安装在洁净室内的蒸发罩 ( hood) , 新风回风混合后通过 HEPA/ULPA/FFU ( 空气处理单元) 送入洁净室。回风由空气集中处理机组或干盘管处理。每个房间的空气 压力由集中处理单元或 FFU 控制, 根据各房间洁净度及室内设备、家具的位置选择布置空气过滤器的数量和位置, 室内温度及相对湿度必须可控。各房间均须设置紧急通风

系统。各洁净室各项具体参数要求见表 2。

按各房间洁净度需求设置气闸、风淋室及传递箱。

无尘车间设计说明

空调净化的设计是与工艺的布局、生产的流程密切结合的。不同类型、不同用途的厂房空调净化系统都各有特点, 下面来介绍此项目的空调净化系统方案。

化验室 1, 化验室 2 都有温度和湿度控制要求, 空调系统用的新风机组 ( MAU) 和循环空调机组 ( RCU) 的冷媒采用 7～12℃的冷冻水,   加热采用 0.2Mpa 饱和蒸汽,   加湿采用纯水电极式加湿方式。

化验室 2 洁净等级为 10 级, 采用新风机组 ( MAU) + 循环空调机组 ( RCU) +超高效过滤器 ( ULPA) 的空调方式。采用的气流形式为顶部 ( ULPA) 送风, 气流经高架地板孔洞至回风夹道。ULPA 满布滤为 100%, 化验室 2 对NH +、SOx 浓度有要求, 需在循环机组 ( RCU) 内增设化学过滤器。10 级净化间的气流流程为: 新回风混合→活性碳滤器→中效过滤器 ( 95%) →表冷器→送风机→消声器→ 亚高效过滤器 ( 99.97%)  →送风静压箱→超高效过滤器( 99.999995%) →洁净区→高架地板→回风夹道→回风管→ 新回风混合。为避免房间酸性气体一旦泄漏造成人员伤亡, 设紧急排气风机。新风接至 MAU- 1 新风机组