海德汉携子公司ETEL即将亮相SEMICON展会

2020-05-18 作者: 晴天

时间：6月27-29日，展位号：E2馆2343号

约翰内斯·海德汉博士（中国）有限公司是德国海德汉公司在中国的独资公司，总部设在北京，在上海、深圳、哈尔滨、沈阳、西安、南京、武汉、宁波和成都设有分公司和办事处。海德汉是一家研发和制造光栅尺，角度、旋转编码器，长度计，数控系统，测头和数显表等的专业公司。产品遍布全球，具有广泛的应用领域，包括机床行业、自动化设备制造行业、半导体和电子器件设备制造业、航空航天、纺织和印刷机械以及电梯等行业。

总部位于瑞士的ETEL公司从事研发、产业化、生产、供应链、质量管理、销售、市场推广和技术支持工作。所有产品设计和生产都在ETEL瑞士总部进行。作为当今市场上直接驱动电机型号最齐全的供应商，ETEL公司提供从纳米级高精度的高端运动系统到大扭矩/大推力工业应用的全面解决方案。ETEL不断展现以直接驱动技术为基础的部件及系统的强大创新能力和领先优势。我们的目标是预知市场需求并成功开发新型和创新的系统架构，确保我们保持竞争优势。ETEL始终着眼于前沿和突破性技术研发；只有长期坚持才能成功。这一理念不仅保持ETEL和其客户现在的成功，也保证未来的成功。

下面是本次展会海德汉和ETEL的主要展品介绍。

1、VULCANO XYZ3T^H QuiET堆叠平台

是由Vulcana XY系统和一个XYZ3T^H多功能模块组成的高精度多轴系统，该平台也集成了QuiET主动避震系统。

产品亮点：

模块化设计，结构紧凑
纳米级的位置稳定性
高动态性能：5 g，1.5 m/s
运动和稳定时间短
兼容ISO 1级超净车间
±0.1°以上的摇摆和倾斜修正范围
带双Z轴，内置Z轴重力补偿
优异的Z轴直线度
更高Z轴重复精度和抖动性能
可修正工作台平面度
卡盘面带真空接口

产品性能：

2、Charon2 Z3TM QuiET 堆叠平台

是由CHARON2 XY系统和一个Z3TM组合模块以及一个垂直直线轴组成的高精度多轴系统，该平台也能集成了QuiET主动避震系统。

产品特点

总行程：达650 mm x 410 mm
9种CHARON2标准产品 x 2种可选的电子系统=18种现成方案可供选择
兼容ISO 2 或者 ISO1级超净车间
使用Z3TM组合模块校正倾斜度
卡盘面带真空接口
运动和稳定时间短
有效负载和高达30千克
灵活的应用和使用用例
同级中更优的拥有成本
模块型、可扩展的性能和现场可升级

产品性能：

3、RTMBi 高性能分选台

与TUCANA and AQUARIUS 力控制短程执行器及AccurET控制单元一起使用的RTMBi，是半导体后段高速转台测试方案的最佳选择。

RTMBi 主要特点:

高动态分度应用的回转工作台
5种不同高度
大扭矩高度比
高动态性能能力
大空心轴，最高灵活性
TMB力矩电机提供大扭矩
最高转速 1200 rpm
重复定位精度（双向） ±3 角秒 at ±3sigma
定位精度：
±20角秒(mapping补偿前)
±6 角秒(mapping补偿后)

TUCANA and AQUARIUS 主要特点:

AQUARIUS

行程：10 mm
峰值推力：120 N
连续推力：5 N
速度达：1 m/s
加速度达：30 g

TUCANA

行程：10 mm
峰值推力：29 N
连续推力：5 N
速度达：1 m/s
加速度达：30 g

4、UltimET运动控制单元与AccurET位置控制单元

能驱动市场上绝大多数伺服电机（无刷电机，直流电机和步进电机），并实现完美的控制性能。

主要特点：

直驱控制应用的最高成就
- 高端多轴应用中的同步和插补功能
- 高级伺服算法
通过ETEL实时总线（TransnET）进行超高速通信
紧凑的外形，简单的布线，便于设备安装
用于设置，识别，调校和监控的ComET软件工具包，简单易用，可帮助客户迅速提高系统的应用能力
模块化结构和紧凑型解决方案
可选配嵌入式扩展卡
标配3D mapping位置修正功能
非常适合电子及半导体行业应用

5、直线电机
ETEL是业内提供标准化直线电机产品品种最全的公司。50多种型号，几乎能满足任何应用要求。

有铁芯电机主要特点

LMA 系列
- 最大持续推力
- 最适用于高负荷周期应用
- 兼容600 VDC
LMG 系列
- 结构紧凑
- 经济适用
- 高峰值推力
- 兼容600 VDC
LMS 系列
- 结构紧凑
- 经济适用
- 较高连续推力
- 兼容600 VDC
性能
- 速度达 15 m/s
- 连续推力可达 956 N
- 峰值推力可达 3650 N
- 较小的推力波动
- 该类直线电机全部使用相同的MWD磁道
无铁芯电机主要特点

ILF +
- 中等推力
- 极小运动惯量
- 兼容600 VDC
ILM+
- 大推力
- 小运动惯量
- 兼容600 VDC
特点：
- 连续推力高达 478 N
- 重量轻的运动件低至 100 g
- 峰值推力可达 3200 N
- 可选配:强制风冷
- 无吸力
- 无推力波动
6、LIDA、LIF和MS 15系列敞开光栅尺

海德汉公司的敞开式直线光栅尺特别适用于高速和精密运动控制。尽管机械结构是敞开式的，但这些光栅尺拥有较强抗污能力，能确保优异的长期稳定性，而且安装简单快捷。.

LIDA 系列适用于高速和达测量范围的敞开式增量光栅尺
- 测量长度可达 30 m。
- 分辨率 10 nm。
- 自带限位功能。
- 易于安装，多种安装方式可选。
- 有码盘和读数头组成。
- 钢带, 玻璃或者玻璃陶瓷尺体。
LIF 系列敞开式增量光栅尺，精度高，重复性好，安装简单。
- 玻璃或玻璃陶瓷的尺体。
- 小信号周期
- 分辨率可达 2 nm
- 自带回零轨和限位开关检测位置
- 有码盘和读数头组成。
- 可在真空环境下使用 (具体型号参见产品手册)
MS15自带归位和限位功能的敞开式直线光栅尺
- 自带三色指示灯，可显示信号质量
- 高质量的单场扫描限号
- 可定制的参考标记位置
- 抗污染能力强
- 较高的穿越速度
- 容易安装
- 结构紧凑
- 分辨率: 10 μm – 0.05 μm